C〇2是一種典型的分子氣體激光器,由于它效率髙,不造成工作介質(zhì)損害,發(fā)射出10.6μm波長(cháng)的不可見(jiàn)激光,因此受到了人們的極大重視,是一種比較現想的激光器,東莞激光打碼機就有用到CO2激光器。
激光打碼機C02激光器主要包括:
①激光管:它是激光器中最關(guān)鍵的部件,常用硬質(zhì)玻璃制成,一般采用層套簡(jiǎn)式結構。最里面一層是放電管,笫二層為水冷套管,最外一層為儲氣管。co2激光器放電管直徑比He-Ne激光管粗。
一般來(lái)說(shuō),放電管的粗細對輸出功率沒(méi)有影響,主??紤]到光斑大小所引起的衍射效應,應根據管長(cháng)而定,管長(cháng)的粗一點(diǎn),管短的細一點(diǎn)。放電管長(cháng)度與輸出功率成正比。
在一定的長(cháng)度范圍內,每米放電管輸出的功率隨總長(cháng)度的增加而增加。加水冷套的目的是冷卻工作氣體,使激光打碼機輸出功率穩定。
放電管在兩端都與儲氣管連接,即儲氣管的一端有一小孔與放電管相通,另一端經(jīng)過(guò)螺旋形冋氣管與放電管相通,這樣就可使氣體在放電管與儲氣管中循環(huán)流動(dòng),放電管中的氣體就會(huì )不斷更換。
②光學(xué)諧振腔:激光打碼機CO2激光器的諧振腔常用平凹腔,反射鏡用K8光學(xué)玻璃或光學(xué)石英加工而成的大曲率半徑的凹面鏡,鏡面上鍍有高反射率的金屬膜一鍍金膜,在波長(cháng)10.6μm處的反射率達98.8%,且化學(xué)性質(zhì)穩定。
二氧化碳發(fā)出的光為紅外光,所以反射鏡需耍采用透紅外光的材料,因為普通光學(xué)玻璃對紅外光不透。
這就耍求在全反射鏡的中心開(kāi)一小孔,再密封上一塊能透過(guò)10.6pm激光的紅外材料,以封閉氣體。這就使諧振腔內激光的一部分從這一小孔輸出腔外,形成一束激光。
③電源及泵浦:封閉式激光打碼機CO2激光器的放電電流較小,采用冷電極,陰極用鉬片或鎳片做成圓簡(jiǎn)狀。30?40mA的工作電流,陰極圓簡(jiǎn)的面積500cm2,為不使鏡片污染,在陰極與鏡片之間加一光欄。泵浦采用迮續直流電源激發(fā)。
激光打碼機CO2激光器為直流電源激勵,將經(jīng)變壓器提升、髙壓整流及高壓濾波而獲得的高壓電施加在激光管上。
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