?①模塊化設計與集成：
激光退火設備通常采用整機模塊化設計與集成，這種設計方式使得設備能夠兼容多種尺寸的薄片晶圓，如4、6、8英寸等。
②激光整形技術：設備集成了自研的成熟好的激光整形技術，確保光斑能量高度均勻且穩(wěn)定，從而提高退火處理的效果和一致性。
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③優(yōu)異的退火效果：退火后，材料表面均勻、平整，表現(xiàn)出優(yōu)秀的電學特性及表面形貌特征。這對于提高材料的性能和穩(wěn)定性具有重要意義。
④嚴格的含氧量控制：設備嚴格控制腔體含氧量，以有效控制表面碳析出量和分布，減少因含氧量過高而導致的材料性能下降問題。
⑤監(jiān)控與補償系統(tǒng)：配置有監(jiān)控與補償系統(tǒng)，用于監(jiān)測光學能量穩(wěn)定性和非退火面溫度，確保退火過程的穩(wěn)定性和可控性。
⑥符合標準與通信支持：配備EFEM傳輸系統(tǒng)，整機符合SEMI標準，并支持SECS-GEM通信協(xié)議，便于與其他生產設備進行集成和通信。
